光學平臺,數量:2個,主要技術參數為:(1)無磁光學平臺面板尺寸:1500mm*2400mm*305mm,帶M6的標準固定孔;(2)四個無磁氣浮支撐腿:高495mm(19.5英寸);(3)臺面板內部真蜂窩狀結構設計,沿蜂窩芯高度方向垂直黏合三芯接面;(4)自平衡時間:優于1.5S;5.共振頻率:垂直1Hz,水平1.5Hz;(6)重復水平精度±0.25mm;(7)安裝孔密封;(8)側板:高阻尼側板;(9)金屬材料:無磁316不銹鋼;(10)低噪聲220V空壓機:長*寬*高≤35cm*28cm*34cm;重量≤18kg;流速~0.1m3/h;最大空氣壓力:8個大氣壓;儲罐容量~3.5L;工作聲音(距離30cm處)≤30db。